2월 6일 워트, EUV부터 HBM 전ㆍ후공정에도 THC 공급…삼성-SK하이닉스發 수요 폭발 준비 完

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연방준비제도(Fed·연준)의 매파적 발언에 따른 금리인하 기대감 후퇴로 인해 미국 증시가 하락 마감했습니다.

 

코스피 종가는 전장보다 15.11포인트(0.58%) 내린 2,576.20으로 하락마감했으며,. 코스닥도 전장보다 0.96포인트(0.12%) 내린 807.03에 장을 마감했습니다.

 

 

워트, EUV부터 HBM 전ㆍ후공정에도 THC 공급…삼성-SK하이닉스發 수요 폭발 준비 完

 

일본이 독점하던 반도체 공정제어환경 분야에 국산화를 통해 초정밀 온습도 제어장비(THC) 시장 점유율 1위를 차지하고 있는 워트가 노광장비(EUV)와 고대역폭 메모리(HBM) 공정 등 전ㆍ후공정 모두에 들어가게 된 것으로 확인됐습니다.

 

워트의 반도체 전공정인 EUV에 쓰이는 초정밀 온습도 제어 장비를 세부 조정하면 HBM 적층 공정에서도 쓰일 수 있습니다.

 

워트 관계자는 “기존 장비를 HBM 적층 공정에도 쓸 수 있는 기본 사양은 동일하다”며 “세부 스펙이 다른데 커스터마이징하는데는 문제가 없다”고 말했습니다.

 

최근 인공지능(AI)의 부상으로 수요가 급증하는 HBM에 워트 장비가 공급될 수 있는 셈이다. 실제로 일부 장비는 이미 적층 후공정에 공급된 이력이 있습니다.

 

워트는 반도체, 디스플레이 공정의 핵심 공정에 필요한 환경제어 시스템을 개발,제작해 납품하고 있습니다. THC는 반도체 포토공정 중 코팅 공정과 노광공정을 마치고 나온 웨이퍼를 현상하는 공정의 각 격실에 미립자, 초정밀 온습도, 미량가스(NH3, ACID 등)를 제어한 공기를 공급하는 장비입니다.

 

주요 고객사는 삼성전자, SK하이닉스, 세메스, 제우스, ATI 등 반도체 장비 제조업체 등이 있습니다.